静電気防止技術

フラットパネルディスプレイ・半導体製造環境においては、高密度化、高精度化が進むにつれて、デバイスの歩留まり向上の阻害要因として、静電気問題がますますクローズアップされています。
半導体に対する静電気対策としては、イオナイザーを使用する除電方法が用いられてきましたが、従来方式のイオナイザーでは針先からの発塵があり、半導体や医薬品製造ラインのクリーン化に対し問題がありました。
テクノ菱和では、静電気に対する長年の研究と実績により、
① 低発塵・シースエア式パルスACイオナイザー（電極を超清浄ガスで覆う方式）
② 無発塵・イオン化清流放出イオナイザー IonCUBE（微弱X線による方式）
とでこの問題を解決し、生産の良品率向上に貢献しています。