技術・ソリューション
静電気防止技術
フラットパネルディスプレイ・半導体製造環境においては、高密度化、高精度化が進むにつれて、デバイスの歩留まり向上の阻害要因として、静電気問題がますますクローズアップされています。
半導体に対する静電気対策としては、イオナイザーを使用する除電方法が用いられてきましたが、従来方式のイオナイザーでは針先からの発塵があり、半導体や医薬品製造ラインのクリーン化に対し問題がありました。
テクノ菱和では、静電気に対する長年の研究と実績により、
① 低発塵・シースエア式パルスACイオナイザー(電極を超清浄ガスで覆う方式)
② 無発塵・イオン化清流放出イオナイザー IonCUBE(微弱X線による方式)
とでこの問題を解決し、生産の良品率向上に貢献しています。
低発塵・シースエア式パルスACイオナイザー
イオン化気流放出型イオナイザー(IonCUBE イオンキューブ®)
イオン化気流放出型イオナイザーの主な特長
① 従来型のイオナイザーのように放電電極を使用せず、微弱X線によりイオン化するため、電極からの発塵、オゾンの発生等の問題が無い。
② 出力調整の必要が無く、微弱X線管の収納されているホルダーを交換するだけで、保守が容易。
③ イオナイザー自体が、微弱X線の遮蔽構造になっているため、設置の際にイオナイザーの周囲を遮蔽する必要が無く設置が容易で安全。