クリーンルームとは、空気中の塵埃や微粒子、および必要に応じて気流や温湿度、圧力までも制御できる閉ざされた空間のことです。現在ではその清浄度も0.01μm以上の微粒子数を制御できるようになり、さらに空気中の微量なケミカルガス成分までもが制御対象となっています。
テクノ菱和 R&Dセンター
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