技術・ソリューション ケミカルガス対応湿式空調機(UCASS) 半導体、FPDの製造に影響するケミカルガス汚染対策において、乾式フィルタは交換期間が短く、ランニングコストは非常に高価です。UCASSは滴下水膜方式により気中の分子状汚染物質AMC(アンモニア、二酸化硫黄など)を吸収、除去します。同時に気化式加湿が行われ、蒸気加湿に比べ省エネルギーとなります。 省エネ・環境対策 ドラフトチャンバーの省エネシステム(REAFS) 低温排熱利用気化式加湿システム(ECOWET) 設備運用支援サービス(smartSOLAVICE) AI蓄熱システム(Opti Brain) ホルムアルデヒド分解処理技術(FOTRAM) 超低湿度室の省エネルギーシステム(RECODRY) リモート計測システム(R-Second Sight) 静電気防止技術 ケミカルガス対応湿式空調機(UCASS) 解剖実験室ホルムアルデヒドクリアシステム(FORMACS) 自然換気促進システム ソーラーチムニー/地下ピット クリーンシステム クリーンルーム清浄度測定ロボット(Doctor-CR®) HEPAフィルタリークテスター (Doctor-HEPA®) HEPAフィルタ自動リーク試験システム(HALi SCANNER) 圧力バランストータル制御システム(P3) RPファインダー 気流可視化システム(Casica) 室圧調整用現場支援ツール (R-mobaco) インダストリアルクリーンルーム(ICR) スーパークリーンルーム(SCR) ケミカルクリーン技術 バイオロジカルクリーンルーム(BCR) 医薬GMP・バリデーション バイオハザード技術 空調システム プラズマ除菌水 エリアセパレート気流システム 中央監視システム(TEC BEAMS) 小規模施設向け中央監視システム(TEC BEAMS lite) デシカント空調システム シミュレーション技術 微風速吹出空調システム 環境試験室 音環境技術 文化財保存技術 防爆施設対応技術 冷凍・冷蔵技術 プロセス排気処理技術 局所給排気技術 リニューアル・メンテナンス メンテナンスサービス 設備診断・リニューアル 設備管理支援サービス(VM-Scope) サービス部門電子レポートシステム(R-Reporter) 冷熱機器販売 空調EX(外部サイト)