技術・ソリューション
クリーンルーム清浄度測定ロボット
Doctor-CR®
測定ポイントを自律走行し、測定～報告書作成までを自動化
- クリーンルームの清浄度測定はJISにより測定点数が規定されています。（例 面積100㎡のときは16点）
- このDoctor-CRは測定ポイントに設置されたマーカーをカメラで認識・測位し、自律移動します。
- 各ポイントで測定→移動後、最終ポイントが完了すると報告書が自動作成されます。
- 室間移動の時はワイヤレスコントローラーによる操作にて走行します。
（特許出願中）
走行ロボットは、（株）システムクラフト社 SCIBOT-XMを使用しています。
測定モード
- ISO測定モード 0.3μm クラス5～8対応 （class100～100,000）
- GMP測定モード グレードC、グレードD対応 （グレードA、Bは非対応）
ISO清浄度クラス 上限濃度（個/m3）
| ISO14644-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | 参考Fed.Std-209E |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| class 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | class 10 | |
| class 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | class 100 | |
| class 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | class 1,000 |
| class 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | class 10,000 | |||
| class 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | class 100,000 | |||
| class 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
WHO-GMP清浄度グレード 上限濃度（個/m3）
| グレード | ISO14644-1 | 非作業時 | 作業時 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 0.5μm | 5μm | 0.5μm | 5μm | ||
| A | 3,520 | 20 | 3,520 | 20 | |
| B | 3,520 | 29 | 352,000 | 2,900 | |
| C | class 7 | 352,000 | 2,900 | 3,520,000 | 29,000 |
| D | class 8 | 3,520,000 | 29,000 | ー | ー |
※本システムは装置の販売は行っていません。測定サービスのご提案です。
