技術・ソリューション
スーパークリーンルーム(SCR)
LSI製造現場では0.1μm以下の微粒子制御、±0.5℃以下の温度制御、ppbオーダーのケミカルガス制御が求められています。テクノ菱和はこれらのスーパークリーン環境を実現するとともに、建設コスト及び運転コストを低減するためのシステムをご提供します。
テクノ菱和のスーパークリーンルームコンセプト
高集積化への対応
清浄度クラスのグラフ表示（ISO、JIS）
清浄度クラスに関する各種表記の対応表
| 規格名称 | IS014644-1 | 通称 | 通称 | 通称 | F.S.209D |
|---|---|---|---|---|---|
| 基準粒径 | 0.1μm | 0.05μmクラス | 0.1μmクラス | 0.3μmクラスク | 0.5μmクラス |
| クラス数の概念 | 1m3中の0.1μm以上粒子数のべき乗 | 1ft3中の基準粒径以上の粒子数（個／ft3) | |||
| 清浄度の対応 | ISOクラス1 | 1 | |||
| 1.5 | 1 | ||||
| ISOクラス2 | 10 | ||||
| 2.5 | 10 | 1 | |||
| ISOクラス3 | 100 | 1 | |||
| 3.5 | 100 | 10 | |||
| ISOクラス4 | 1,000 | 10 | |||
| 4.5 | 1,000 | 100 | |||
| ISOクラス5 | 100 | ||||
| 5.5 | 1,000 | ||||
| ISOクラス6 | 1,000 | ||||
| 6.5 | 10,000 | ||||
| ISOクラス7 | 10,000 | ||||
| 7.5 | 100,000 | ||||
| ISOクラス8 | 100,000 | ||||
| 8.5 | 1,000,000 | ||||
| ISOクラス9 | 1.000.000 | ||||
※ISO 14644-1（1999）「クリーンルームと関連規制環境」：クリーンルームに関する国際規格であり、今後、他の規格はこれに準じて変更もしくは廃止される。原案作成にはテクノ菱和も参画した。清浄度クラス表記としては、1m3中の粒径0.1μm以上の粒子数Cの常用対数がクラス数Nとなる。
※JIS B 9920：ISO表記と同一である。2002年の改訂で、細部もISOと同一となった。
※Federal Standard 209D：米国連邦規格。209Dがよく使われている。1立方フィート中の0.5μm以上粒子数でクラス表示する。
※通称表記：正式な表記ではないが、F.S.209Dの表記方法を準用して、「0.1μmクラス100」などの通称がよく用いられている。
