プロセス排気処理技術

各種の製造施設に使用されるガス・薬液は多種多様で、時には毒性、可燃性、腐食性の強い物質が含まれる場合があります。これらのプロセス排気は、排出されるまでの間において空気中の酸素やガス同士が反応する場合もあり、その排気処理システムの設計・施工には、高度なノウハウが必要となります。
たとえば、液晶・半導体製造工程から排出されるガスはその主要成分によって、
① 酸、アルカリ系排気
② 有機溶剤系（アルコール、アミン）排気
③ 有機一般系排気
④ 特殊（可燃、支燃）排気
⑤ 熱排気
等に分けることができますが、それぞれの排気に対して最適な処理システムを構築し環境への負荷を低減させる必要があります。