ケミカルガス対応湿式空調機(UCASS)

半導体、FPDの製造に影響するケミカルガス汚染対策において、乾式フィルタは交換期間が短く、ランニングコストは非常に高価です。UCASSは滴下水膜方式により気中の分子状汚染物質AMC(アンモニア、二酸化硫黄など)を吸収、除去します。同時に気化式加湿が行われ、蒸気加湿に比べ省エネルギーとなります。