クリーンルームにおける静電気対策
書籍紹介
クリーンルームにおける静電気対策
［著者］株式会社テクノ菱和 鈴木政典
［発行］日刊工業新聞社
［版形］Ａ５版（１６８ページ ソフトカバー）
［定価］2,750円（税込）
【内容】
本書では、イオナイザーをクリーンルームで使用する上での問題点とクリーンルーム用イオナイザーについて詳細に述べています。また、イオナイザーを使用しない接地による静電気対策（危険物を取り扱う工程や施設における静電気対策）についても、読者が自ら実施できるように、具体的に平易に詳細に説明しています。本書では、先端産業の製造に携わる読者が、静電気の基礎から静電気対策全般までの広範囲な知識（初心者から上級者までのレベル）を習得できるように、平易に詳細に説明しています。
【目次】
1. 静電気の基礎
2. 半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
3. 半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策の方法
3. 1 接地により静電荷を散逸させる方法
3. 2 イオナイザーからの空気イオンにより静電荷を中和する方法
4. クリーンルームにおける静電気対策の問題点
5. コロナ放電式イオナイザーの電極からの発塵の問題
6. 開発されたクリーンルーム用イオナイザー
7. 静電気対策の事例