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技術紹介

静電気防止技術

フラットパネルディスプレイ・半導体製造環境においては、高密度化、高精度化が進むにつれて、デバイスの歩留まり向上の阻害要因として、静電気問題がますますクローズアップされています。
半導体に対する静電気対策としては、イオナイザーを使用する除電方法が用いられてきましたが、従来方式のイオナイザーでは針先からの発塵があり、半導体や医薬品製造ラインのクリーン化に対し問題がありました。
テクノ菱和では、静電気に対する長年の研究と実績により、
① 低発塵・シースエア式パルスACイオナイザー(電極を超清浄ガスで覆う)方式
② 微弱X線によるイオン化方式
とでこの問題を解決し、生産の良品率向上に貢献しています。

イオナイザーによる静電気防止箇所

① 半導体製造工程におけるウェハーの帯電
② プラスチック容器などの高抵抗物質の帯電
③ フラットパネルディスプレイ製造工程における
ガラス面などの帯電
④ 医薬品製造施設などの粉体の帯電

イオナイザーによる静電気防止箇所

発塵・シースエア式パルスACイオナイザー

低発塵・シースエア式パルスACイオナイザー

イオナイザーによる静電気防止箇所

低発塵・シースエア式パルスACイオナイザーの構造および原理

低発塵・シースエア式パルスACイオナイザーの構造および原理

イオン化気流放出型イオナイザー(イオンキューブ®)

イオン化気流放出型イオナイザー

静電気対策用吹出口
(イオン化気流放出型イオナイザーの一例)

イオン化気流放出型イオナイザー

イオン化気流放出型イオナイザーの主な特長

① 従来型のイオナイザーのように放電電極を使用せず、微弱X線によりイオン化するため、 電極からの発塵、オゾンの発生等の問題が無い。
② 出力調整の必要が無く、微弱X線管の収納されているホルダーを交換するだけで、保守 が容易。
③ イオナイザー自体が、微弱X線の遮蔽構造になっているため、設置の際にイオナイザー の周囲を遮蔽する必要が無く設置が容易で安全。

施工実績

  • シャープ
  • 日立製作所茂原工場
  • 日立化成研究所
  • Quanta Display Inc.
  • UNIPAC
  • 日本マイクロニクス
  • 大塚製薬工場松茂工場
  • ニプロファーマ大館工場

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