清浄度クラス
Class 1
Class 2
Class 3
Class 3.5
Class 4
Class 4.5
Class 5
Class 5.5
Class 6
Class 6.5
Class 7
Class 8
粒子数割合:
%
表示粒子:
0.1μm
0.3μm
0.5μm
立方体を自動回転
ISO Class 5
表示粒子
0.1 μm
—
0.3 μm
—
0.5 μm
—
TARGET SPACE
300mm 立方体
(固定)