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技術紹介

搬送ラインのクリーン技術

半導体関連技術や精密機器関連技術および薬品関連技術等の分野では、日々絶え間ない技術革新が行われ、より高密度、高精度な品質が追求されています。これらの技術力の発展には、清浄な生産環境を提供するクリーンシステムが不可欠なものとなっています。また、最近では、電子部品、合成樹脂、印刷の分野で製造されるフィルム状加工品の乾燥工程においても、クリーンシステムが求められるようになりました。
乾燥ラインにおいては、各工程ごとに温湿度と清浄条件が異なります。また、無人運転が可能であること、乾燥時間の短縮といった、経済性も必須条件であり、さらに連続処理機能を完備することも必要となりました。
テクノ菱和では、こうした厳しい要求にお応えすべく、長年培ってきたクリーンルーム技術の応用により、各種製造装置および搬送ラインまでも、自動化・超清浄化を行える連続型清浄乾燥装置「クリーンドライヤ」を開発し、さらには水平面での搬送ばかりでなく、上下方向の移動のための「クリーンダムウェータ」(省スペース型)の設計・施工も行っています。

クリーンドライヤの特長

①被乾燥物に合わせて温湿度および風量が設定できます。
②上方、下方両面吹出の採用により乾燥ムラがなく製品の均一化が図れます。
③被乾燥物に合わせて各室ごとに清浄度を決められます。 <清浄度クラス100~100,000程度>
④熱交換器により、排熱回収を行うため大幅な省エネルギー化が図れます。
⑤大量で連続した乾燥が可能であり、被乾燥物に合わせて搬送スピードが容易に変えられます。

クリーンドライヤの特長

クリーンドライヤフロー図 実施例

クリーンドライヤフロー図 実施例

クリーンダムウェータの特長

①カゴ上部にファンフィルタユニットを設け
 カゴ内清浄度をクラス100(0.3μm)に保ちます。
②循環エアーのレターンスペースと昇降路を兼用し
 省スペース化を図りました。
③機械室および昇降路に排気用のファンフィルタユニットを
 設置し、機械室、昇降路内を陰圧に保ち外部への
 コンタミネーションを防ぎます。
④従来のクリーンダムウェータに比べ
 低コストを実現しました。

クリーンダムウェータ 写真

クリーンダムウェータ概念図 実施例

施工実績

  • 大塚製薬工場松茂工場
  • 双葉電子工業
  • 山本製作所

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