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技術紹介

スーパークリーンルーム技術

技術革新の著しい電子産業分野においては非常に厳しい清浄環境が要求されています。半導体集積度の高度化とともに、製造ラインでは0.01μm微粒子数の制御、ケミカルガスのppbオーダーでの制御が求められています。
テクノ菱和は、これらの超清浄環境に加え、設備建設コスト低減、運転コスト低減などお客様のニーズにも充分応えられるスーパークリーンシステムを開発しました。このシステムは温度調節機能を有するFFU(ファンフィルタユニット)方式を採用することにより、最小の一次空気でローカル負荷に対応した高精度な温湿度制御を可能にしています。

テクノ菱和のスーパークリーンルームコンセプト

テクノ菱和のスーパークリーンルームコンセプト

シャープ

シャープ

高集積化への対応

高集積化への対応

清浄度クラスのグラフ表示(ISO、JIS)

清浄度クラスのグラフ表示(ISO、JIS)

清浄度クラスに関する各種表記の対応表

清浄度クラスに関する各種表記の対応表

※ISO 14644-1(1999)「クリーンルームと関連規制環境」:クリーンルームに関する国際規格であり、今後、他の規格はこれに準じて変更もしくは廃止される。原案作成にはテクノ菱和も参画した。清浄度クラス表記としては、1㎥中の粒径0.1μm以上の粒子数Cの常用対数がクラス数Nとなる。
※JIS B 9920:ISO表記と同一である。2002年の改訂で、細部もISOと同一となった。
※Federal Standard 209D:米国連邦規格。209Dがよく使われている。1立方フィート中の0.5μm以上粒子数でクラス表示する。
※通称表記:正式な表記ではないが、F.S.209Dの表記方法を準用して、「0.1μmクラス100」などの通称がよく用いられている。

施工実績

  • シャープ
  • SUMCO
  • 双葉電子工業
  • JFE
  • ヤマハ
  • 東京計器
  • 日本テキサス・インスツルメンツ
  • 東京応化工業

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