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超低湿度クリーンルーム

リチウムイオン電池生産や医薬品の製剤では、空気中の水分(湿度)が阻害要因となる工程があります。特にリチウムイオン電池の製造工程では、露点温度-40℃以下となるような超低湿度クリーンルームが要求されます。この設備は、そのような要求に対応できるモデルルームとして建設しました。
超低湿度環境を実現するためには、多くのエネルギー、特に除湿剤を再生する際の蒸気あるいは電気といった高温を達成するエネルギーを投入する必要があります。
そこで、2010年にムンタース株式会社と共同で、シミュレーションをおこない、その結果を基に改造を施しました。この改造により、年間30%エネルギー削減を実現しました。

施設の概要

室サイズ

前室

1.2×1.2×2.4Hm

本室

2.1×1.5×2.4Hm

室内条件

乾球温度

20~25℃(DB)

湿球温度

-40~12℃(DP)

相対湿度

0.5~50%(Rh)

露点温度計

VAISALA社製 MDT152 Vaisala DRYCAP

露点温度

-80~20℃ ±2℃

設備仕様

ハニカムロータ式除湿機(シリカゲル吸湿剤使用)

空冷ブラインチラー(冷却能力5kW)

ファンフィルターユニット(省エネタイプ6.7W/CMM)

改造前のフロー

改造前のフロー

改造後のフロー 赤い部分が改造部分

改造後のフロー 赤い部分が改造部分

研究所の除湿機内部

研究所の除湿機内部

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