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超高精度恒温恒湿クリーンルーム

この施設は、世界最高水準の超高精度恒温恒湿度室のモデルルームとして建設されました。全面一方向流方式(垂直型)の実験用クリーンルームとして、多目的に使用できます。

施設の概要

室サイズ

3.7×2.4×2.7Hm

温度

23℃±0.002℃(制御点における水晶温度計の指示値)

湿度

45%±0.1%RH

清浄度

U(35個/m3 ; 0.02μm)

特徴

素線型Pt温度センサー製作による超高速温度検知ケミカルガス対応

2点温度入力の特殊制御器による超高精度温度制御省エネルギー

バイパス混合方式による温調ユニットの小型化とエアミキシング装置

大型ULPAフィルタ(1800×750mm)下方取付方式

超高精度恒温恒湿クリーンルーム 写真

超高精度恒温恒湿クリーンルーム

温度指示調節計(精度0.001℃) 写真

温度指示調節計(精度0.001℃)

システムフロー図

システムフロー図

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