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技術開発研究所|研究開発

分析装置

半導体や液晶製造等のクリーンルームにおいて、静電気による微粒子汚染や静電気放電による回路素子の損傷等の静電気障害が、歩留まり低下を引起し、大きな問題になっています。
そのため、クリーンルームでは、清浄な製造環境を維持しつつ、静電気を除去する技術が求められています。
当社では、1986年から、クリーンルームにおける静電気対策に取り組み、その過程で、クリーンルーム用のイオナイザーを開発してきました。

■低発塵・シースエア式パルスACイオナイザー(コロナ放電式)

主な特長
①シースエアの効果と耐摩耗性電極による、低発塵・ローメンテナンス電極クリーニング: 0.5年毎 電極交換: 1年毎
②1Hzから33Hzまで高電圧の周波数を変えることが可能で、除電対象物に接近して使用する場合は周波数を大きくし、離して使用する場合は周波数を小さくして、一台で近距離用と遠距離用に対応可能。
③コンピュータによる精密制御で、調整等の操作性が良い。
④大型ガラス基板に対応

主な用途
① FPD・半導体製造クリーン環境での静電気防止
② プラスチック容器などの高抵抗物質の静電気防止
③ フィルム関連などの静電気防止
④ 高純度粉体物質などの静電気防止

 写真

シースエア式パルスACイオナイザー

■イオン化気流放出型イオナイザー(微弱X線式)

イオンキューブ

主な特長
① ファンフィルタユニット(FFU)等の吹出口下流に装着することにより、清浄空間全体に対して正負のイオンを等量供給し、帯電体をすみやかに除電する。イオンを搬送する圧縮エア等のユーティリティーを全く必要としない。
② 微弱X線によりイオン化するため、放電電極を使った従来タイプ(コロナ放電式)のイオナイザーのように電極からの発塵、オゾンの発生の問題がない。
③ コロナ放電式では、プラス・マイナスの出力調整が必要で、また性能維持のために放電電極のメンテンナンスが必要でしたが、「イオンキューブ」は微弱X線管のホルダーを交換するだけで、他のメンテナンスは不要。
④ この「イオンキューブ」自体が、微弱X線の完全遮蔽構造になっているため、設置の際に周囲を遮蔽構造とする必要が無く、設置が容易で安全。

主な用途
① 半導体、液晶製造装置のローダ・アンローダ部、搬送部、ステージ部における静電気対策
② 医薬品製造工程の粉体充填部における静電気対策
③ ミニエンバイロメント内の静電気対策
④ その他、FFU等下部の清浄な環境において除電を必要とする場合の静電気対策

イオンキューブ

イオンキューブ

イオンカラム

主な特長
① 生産装置内等の局所空間の除電が可能。
② 従来タイプのイオナイザーのように放電電極を使用せず、微弱X線によりイオン化するため、電極からの発塵、オゾンの発生等の問題が無い。
③ 出力調整の必要が無く、微弱X線管の収納されているイオン化チャンバー(イオンカラム本体部)を交換するだけで、保守が容易。
④ イオナイザー自体が、微弱X線の遮蔽構造になっているため、設置の際にイオナイザーの周囲を遮蔽構造とする必要が無く、設置が容易で安全。

イオンカラム本体部、ヘッダー部 写真

イオンカラム本体部、ヘッダー部

イオンカラム一式 写真

イオンカラム一式

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