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技術開発研究所|研究開発

分析装置

ケミカル汚染対策を必要とするクリーンルームの環境測定を始め、排気や排水中に含まれる有機物質や無機イオンの測定、フィルタに付着した異物の分析など、研究開発から現場支援まで幅広く対応しています。
主な装置は以下の通りです。

  • ・GC-MS(ガスクロマトグラフ質量分析器)
  • ・イオンクロマトグラフ
  • ・TOC計
  • ・VOC計
  • ・SEM-EDX(走査型電子顕微鏡(SEM)+エネルギー分散型X線元素分析装置(EDX))
分析室 写真

分析室

SEM室 写真

SEM室

クリーンルーム空気採取風景 写真

クリーンルーム空気採取風景

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