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テクノ菱和の環境対策技術

省資源対策

UCASS(R)(ユーキャス)─ ケミカルガス対応湿式空調機 ─

従来、半導体製造工程でケミカルガス汚染対策として用いられてきた乾式フィルタは、劣化が早く短時間で交換する必要がありました。UCASS®は、空気中の水溶性ガス成分を水に吸収させ安定的にケミカルガスを除去するので、短期間でフィルタを廃棄する必要がなく、省資源・廃棄物削減に貢献します。

UCASS(R)(ユーキャス)写真

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